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日本MIKASA晶圓表面涂抹設(shè)備半導(dǎo)體用涂布機(jī) MS-B200 / MS-B300 產(chǎn)品采用AC伺服電機(jī)且無刷，因此在防止?jié)崈羰椅廴痉矫婢哂谐錾男阅?，并且減少電機(jī)的發(fā)熱以防止連續(xù)使用時(shí)的溫度升高。膜厚再現(xiàn)性也較低。
2024-10-12
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日本MIKASA小型高性能旋涂機(jī)涂布機(jī)潔凈室用 MS-B100 / MS-B150 產(chǎn)品采用AC伺服電機(jī)且無刷，因此在防止?jié)崈羰椅廴痉矫婢哂谐錾男阅?，并且減少電機(jī)的發(fā)熱以防止連續(xù)使用時(shí)的溫度升高。膜厚再現(xiàn)性也較低。
2024-10-12
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