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日本Hisol等離子清洗機去除有機污染物等 G1000G1000是一種利用 氣體等離子體的蝕刻作用,在低壓環(huán)境下對被清洗物體表面進行清洗的系統(tǒng)。通過根據(jù)用途選擇所使用的氣體,不僅可以可靠地去除有機污染物,還可以可靠地去除無機污染物。
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日本Hisol等離子清洗機去除有機污染物等 G1000 特點介紹
G1000是一種利用 氣體等離子體的蝕刻作用,
在低壓環(huán)境下對被清洗物體表面進行清洗的系統(tǒng)。通過根據(jù)用途選擇所使用的氣體,
不僅可以可靠地去除有機污染物,還可以可靠地去除無機污染物。
該系統(tǒng)非常適合通過清潔 HIC 基板和引線框架的接合表面來提高接合強度,并通過表面改性(親水化)提高潤濕性。
有機材料(抗蝕劑等)的蝕刻
去除污染物和焊劑
清潔引線鍵合表面——提高鍵合強度
提高表面親水性 - 芯片附著/模具預處理
表面張力控制等
日本Hisol等離子清洗機去除有機污染物等 G1000 規(guī)格參數(shù)
平行板式腔室將等離子體均勻照射到待清潔表面
根據(jù)清潔目標,
從 5 種不同強度的等離子體模式中進行選擇,包括無電子等離子體和活性等離子體。
內(nèi)存中可存儲 12 種清潔條件,并且
可使用設備正面的觸摸面板輕松執(zhí)行配方設置和操作。
與高頻 (13.56MHz) 相比, 40kHz LF 等離子電源可實現(xiàn)高效等離子照射
(工件上的熱應力更?。?/span>
可以選擇任意 3 種氣體,氣體混合和流量可由 CPU 控制,并可選配質(zhì)量流量控制器。
有 14 個狹縫,用于放置托盤。
總共包括 12 個帶孔托盤,用作電極和工件支架。
托盤有三種類型:活性托盤(+)、接地托盤(-)和
與腔室絕緣的浮動托盤,
等離子體在活性托盤和接地托盤之間產(chǎn)生
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