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產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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日本filgen濺射鍍膜機(jī)帶蝕刻模式無熱損傷 12151-AB/12151E-AB●節(jié)省空間/臺式濺射鍍膜機(jī)●快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A）——對樣品無熱損傷。●可濺射/蝕刻●可以通過移動樣品臺來調(diào)整到目標(biāo)的距離。●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺冷卻●提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）
產(chǎn)品型號：12151-AB/12151E-AB廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-10-11訪 問 量：227
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日本filgen濺射鍍膜機(jī)帶蝕刻模式無熱損傷 12151-AB/12151E-AB 特點(diǎn)介紹
●節(jié)省空間/臺式濺射鍍膜機(jī)
●快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A）——對樣品無熱損傷。
●可濺射/蝕刻
●可以通過移動樣品臺來調(diào)整到目標(biāo)的距離。
●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺冷卻
● 提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）
● CE、RoHS（有害物質(zhì)限制）
● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇（*見下文）
例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器
日本filgen濺射鍍膜機(jī)帶蝕刻模式無熱損傷 12151-AB/12151E-AB 規(guī)格參數(shù)
尺寸 260(寬)×310(深)×150(高)毫米
蝕刻 濺射/蝕刻模式模塊
模型 12151-AB 12151E-AB 12151Q-AB 12151EQ-AB
類型 基本的 帶膜厚監(jiān)測儀 具有蝕刻模式和 膜厚監(jiān)視器
電源 AC110V 50Hz(60Hz)
配件 Au靶材厚度76μm/陰極57mmφ
作品 真空控制基座單元
濺射鍍膜機(jī)模塊
― 晶體諧振器膜厚監(jiān)測儀
● 節(jié)省空間/臺式濺射鍍膜機(jī)
● 快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A）——對樣品無熱損傷。
● 可濺射/蝕刻
● 可以通過移動樣品臺來調(diào)整到目標(biāo)的距離。
● 惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺冷卻
● 提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）
● CE、RoHS（有害物質(zhì)限制）
● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇（*見下文）
例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器
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