日本IKC波紋管式緊湊型直線(xiàn)送料機(jī)導(dǎo)入機(jī) ILC-34-10/34-15/34-20系列 特點(diǎn)介紹

直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線(xiàn)前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺(tái)、輸送晶圓等。

入江工研的直線(xiàn)送料機(jī)有波紋管密封型和磁力密封型兩種類(lèi)型，并配有手動(dòng)和自動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，提供滿(mǎn)足各種需求的產(chǎn)品。

我們的焊接波紋管是內(nèi)置的，行程標(biāo)準(zhǔn)化為 10 至 200 毫米。

驅(qū)動(dòng)部分密封采用焊接波紋管，因此可用于超高真空領(lǐng)域。

它的結(jié)構(gòu)極其簡(jiǎn)單，注重功能，使其體積小、重量輕。手動(dòng)型設(shè)計(jì)可承受250℃烘烤溫度。

1. 內(nèi)置入江工研制造的焊接波紋管，標(biāo)準(zhǔn)化行程為10mm、15mm、20mm。

2. 比我們的波紋管式直導(dǎo)入機(jī)（ILD系列）更加緊湊。

日本IKC波紋管式緊湊型直線(xiàn)送料機(jī)導(dǎo)入機(jī) ILC-34-10/34-15/34-20系列 規(guī)格參數(shù)

ILC-34-10ILC-34-15ILC-34-20

中風(fēng)10毫米 15毫米 20毫米 

連接法蘭CF34 

驅(qū)動(dòng)方式手動(dòng)的 

泄漏量1×10 -10 Pa·m 3 /s以下 

烘烤溫度250℃ 

主要使用材料SUS304 

波紋管材質(zhì)SUS316L 

直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線(xiàn)前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺(tái)、輸送晶圓等。

入江工研的直線(xiàn)送料機(jī)有波紋管密封型和磁力密封型兩種類(lèi)型，并配有手動(dòng)和自動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，提供滿(mǎn)足各種需求的產(chǎn)品。

我們的焊接波紋管是內(nèi)置的，行程標(biāo)準(zhǔn)化為 10 至 200 毫米。