日本nasgiken搜集硅晶片金屬污染物回收裝置 SC-3100/SC-8100/SC-9100 特點介紹

SC-3100

●連接至PC以創(chuàng)建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側(cè)面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。

●設(shè)備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。

●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。

●由于設(shè)備自動供給取樣化學(xué)品并移動支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染。

SC-8100

●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進(jìn)行采樣。

●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。

●當(dāng)然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。

SC-9100

●具有即使是親水狀態(tài)的晶圓也能捕集污染物的功能，可對硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓進(jìn)行取樣。

●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。

●當(dāng)然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。

●由于設(shè)備自動供給取樣化學(xué)品并移動支架，因此與SC-8100相比，可以減少工人造成的污染。

日本nasgiken搜集硅晶片金屬污染物回收裝置 SC-3100/SC-8100/SC-9100 規(guī)格參數(shù)

設(shè)備名稱 SC-3100 SC-8100 SC-9100

手術(shù) 電腦 (*3)

安裝/拆卸固定器 自動的 手動的 自動的

供應(yīng)取樣用化學(xué)溶液 自動的 手動的 自動的

化學(xué)溶液取樣采集 自動 (*1) 手動的 自動的

基本采集模式 環(huán)形、扇形、固定、半徑、圓弧

追加收集圖案(*1) 橫向、矩形、弧形

定向平整處理（*2） 添加到環(huán)形、固定半徑、側(cè)面檢索模式