日本e-yamato減壓閥分析儀半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器 ER-1LL 特點(diǎn)介紹

可用于半導(dǎo)體用用途的壓力調(diào)節(jié)器。

半導(dǎo)體·太陽(yáng)電池·液晶·LED生產(chǎn)工廠和正在研究的大學(xué)推薦給研究機(jī)構(gòu)。

制造時(shí)，高維度清潔度高気密性·為了滿足高可靠性，“克林魯一"

實(shí)施內(nèi)組裝、高性能清洗、全數(shù)電阻測(cè)試。

He檢定采用SEMI FO1方法進(jìn)行，符合標(biāo)準(zhǔn)。

日本e-yamato減壓閥分析儀半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器 ER-1LL 規(guī)格參數(shù)

ER-1LL

一次傭壓力（MPa）

1~5

二次側(cè)使用壓力（MPa）

0.1~0.99

使用溫度（度C）

-5~40（設(shè)計(jì)溫度:-10~7攝氏度）1/4

外部響應(yīng)量（Pam/sec）

螺紋接頭:1.3x10以下焊接頭:1.3X10-以下

相立環(huán)境

螺紋接頭:10000級(jí)焊接頭:1000級(jí)

純水洗凈接主本體

SUS316L

要部材質(zhì)

材貿(mào)記號(hào)

分離片

SUS316L

諾科脫明

井材氟樹(shù)脂

是P476其他

SUS316.氟樹(shù)脂

內(nèi)置過(guò)濾器一概過(guò)多20μm

重(kg)1.1

標(biāo)準(zhǔn)流量8/min（nor）

250(P=1MPa.Pe=0.6MPa)

最大流量/分鐘（nor）

300（P，=1MPa.P。=0.6MPa)

可用于半導(dǎo)體用用途的壓力調(diào)節(jié)器。

半導(dǎo)體·太陽(yáng)電池·液晶·LED生產(chǎn)工廠和正在研究的大學(xué)推薦給研究機(jī)構(gòu)。