日本YUTAKA中低壓流量型壓力控制器L26系列 L26SS/L26SH/L26SH-CL2 特點(diǎn)介紹

L26系列是一款設(shè)計(jì)用于低壓和中壓半導(dǎo)體工藝制造氣體的產(chǎn)品。

基本結(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為與L25產(chǎn)品相比基本性能有所提高的過渡產(chǎn)品。

該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能，使其成為設(shè)備供應(yīng)中使用的閥箱和連接裝置的理想選擇。

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa

（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa） 

氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.001MPa 

承受壓力 一次側(cè)22.2MPa 

CV值 0.21 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內(nèi)部容積 4.75cm（不含3個壓力表及接頭） 

大量的 1公斤 

日本YUTAKA中低壓流量型壓力控制器L26系列 L26SS/L26SH/L26SH-CL2 規(guī)格參數(shù)

類型L26SSL26SHL26SH-CL2L26SS-N2OL26SS-COL26SS-NH3

氣體接觸部分 

主體SUS316L 

調(diào)節(jié)閥桿SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

隔膜哈氏合金® C-22 SUS316L 哈氏合金®C-22 

閥座PCTFE（Daiflon®） 特種

氟樹脂 聚酰亞胺

樹脂 PCTFE

（Daiflon®） 氨

專用板材