日本YUTAKA高壓流量計(jì)壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 特點(diǎn)介紹

L21系列是專為使用高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，基本性能較L20系列有所提高。

該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能，是氣缸柜的理想選擇。

■壓力表連接接頭的尺寸和形狀為1/4"面密封接頭的雄性為標(biāo)準(zhǔn)。

·入口出口接頭的種類尺寸和形狀（雄性、雌性）的組合可從產(chǎn)品編號表中顯示的組合中進(jìn)行選擇。

■UJR®、VCR®、CVC®以外的接頭的面間尺寸可能與標(biāo)準(zhǔn)面間尺寸不同。

日本YUTAKA高壓流量計(jì)壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 規(guī)格參數(shù)

入口壓力14.8MPa以下（最大24MPa）

調(diào)節(jié)壓力Max.0.99MPa

（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）

氣源壓力波動進(jìn)口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化0.0005MPa以下

承受壓力31.5MPa（入口側(cè)）、1.5MPa（調(diào)節(jié)側(cè)）

CV值0.09

工作溫度-10~+40℃

外漏1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）

內(nèi)部容積4.75cm（3個壓力表，不含接頭） 4.75cm（3個壓力表，不含接頭）

大量的約1.4公斤